文章來源:http://088008.cn/?? 作者:凈化車間工程?? 發(fā)布時間:2019-12-12?? 瀏覽次數(shù):225
對于車間凈化工程來說,有靜電的話會對車間產生不好的影響,而空氣中的濕度也要達到一定的標準,不能過低或是過高。所以要針對性的對靜電和濕度問題進行處理。那么凈化工程中防止靜電的方式有哪些呢?控制的濕度的原因又有哪些呢?
一、防止靜電的方式
1、保持凈化車間達到一定的濕度。北方地區(qū)冬季是比較干燥的,所以靜電產生的故障要遠遠大于在東南沿海地區(qū)或其他季節(jié),因此在一些重要場所,例如計算機機房、半導體凈化車間、電子儀器的裝配車間應考慮保持一定濕度的問題,特別是對那些封閉形的空調房間,更應有一定控制濕度的設備。
2、半導體器件應盛放在防靜電塑料盛放器或防靜電塑料袋中。這種防靜電盛放器有良好導電性能,能有效防止靜電的產生。當然,有條件的應盛放在金屬盛放器內或用金屬箔包裝。
3、使用離子風槍、離子頭、離子棒等設施,使在一定范圍內防止靜電產生。
4、鋪設防靜電地板或地毯。目前已有這種具有一定導電性能的塑料地板或地毯產品,能十分有效抑制由于人的行走產生靜電。
5、對于操作人員應在手腕上帶防靜電手帶,這種手帶應有良好的接地性能,這種措施比較有效。
二、控制濕度的原因
凈化車間的溫濕度主要是根據(jù)您的加工工藝要求來確定,在滿足加工工藝的條件下,首先應該考慮人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高,工藝對溫濕度的要求也越來越高,要達到一定的溫濕度等級。例如在大規(guī)模集成電路生產的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以要有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,這種車間不宜超過25度。濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。
隨著科學技術在不斷的發(fā)展,車間凈化工程應用行業(yè)非常廣泛。凈化工程是控制污染的基礎,所以對于靜電和濕度的問題要及時進行解決,從源頭上控制污染。
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