凈化車間的使用有相對嚴格的要求。如果車間的相對濕度控制不好，凈化車間的整體性能可能會下降，也會帶來一系列的影響。影響是什么?下面就跟著蘭橋凈化一起來看看吧。

　　1、細菌生長。細菌和其他生物污染物(霉菌、病毒、真菌、螨蟲)可以在相對濕度超過60%的環(huán)境中活躍繁殖。一些菌群在相對濕度超過30%時就可以增長。當相對濕度在40%和60%之間時，細菌和呼吸道感染的影響可以最小化。所以凈化車間的相對濕度需要控制在一定范圍。

　　2、相對濕度控制不好，容易造成凈化車間里的金屬腐蝕。很多化學反應的速度，包括腐蝕過程，將隨著相對濕度的增高而加快。車間周圍暴露在空氣中的所有表面都很快被至少一層水覆蓋。當這些表面是由可以與水反應的薄金屬涂層組成時，高濕度可以使反應加速。一些金屬，例如鋁，可以與水形成一層保護型的氧化物，并阻止進一步的氧化反應;另一種金屬，例如氧化銅，是不具有保護能力的。在高濕度的環(huán)境中，銅制表面更容易受到腐蝕。

　　3、凈化車間相對濕度控制不好會出現(xiàn)靜電荷。當相對濕度超過50%時，靜電荷開始迅速消散，但當相對濕度低于30%時，靜電荷會在絕緣體或未接地表面上存在很長時間。凈化車間相對濕度在35%到40%之間可以作為一個令人滿意的折中，半導體車間一般都使用額外的控制裝置以限制靜電荷的積累。

　　4、吸水性。相對濕度控制不好對凈化車間的吸水量有一定影響。

　　5、水汽冷凝。在相對濕度較高的凈化車間環(huán)境中，濃縮水形的毛細管力在顆粒和表面之間形成了連接鍵，可以增加顆粒與硅質表面的黏附力。這種效應被稱為凱爾文濃度，即當相對濕度小于50%時，這并不重要，但當相對濕度約為70%時，它就成為顆粒間粘附的主要力量。

　　6、凈化車間的濕度在40%至60%的范圍同樣也是人類感覺舒適的適度范圍。如果凈化車間濕度過高會使人覺得氣悶，而濕度低于30%則會讓人感覺干燥，皮膚皸裂，呼吸不適以及情感上的不快，從而影響工作。

　　此外，在高相對濕度的環(huán)境下，光致抗蝕劑在烘烤循環(huán)后由于吸收水分而膨脹和增強。光刻膠附著力同樣也可以受到較高的相對濕度的負面影響;較低的相對濕度(約30%)使光刻膠附著更加容易，甚至不需要聚合改性劑，如六甲基二硅氮烷(HMDS)。